Ipari gyorsítók – iparban használt töltött részecskegyorsítók [1] . A legelterjedtebbek a kis lineáris elektrongyorsítók, akár elektrosztatikus, akár impulzusos, 0,1÷5 MeV energiájú ( elektronsugaras feldolgozás ). Az elektrosztatikus iongyorsítókat széles körben alkalmazzák vékony félvezetőréteg adalékolására , a mikroelektronika (ionimplantáció) igényeire.
Az ipari gyorsítók alkalmazási területei [2] :
részecskegyorsítók | ||
---|---|---|
Tervezés szerint |
| |
Bejelentkezés alapján |