Plazma kezelés

A plazmafeldolgozás az anyagok feldolgozásának folyamata ív- vagy nagyfrekvenciás plazmafáklyák által generált alacsony hőmérsékletű plazmával , hogy megváltoztassák a feldolgozott anyag alakját, méretét, szerkezetét vagy felületi rétegének állapotát. A plazmafeldolgozás fajtái a következők: szétválasztás és felületvágás, bevonatolás, permetezés, hegesztés [1] .

A plazmakezelés alfajai a következők:

• Plazma aktiválás ;
• Plazma-immerziós ionimplantáció
• Plazma módosítás ;
• Plazmamarattás ;
• Plazma permetezés ;
• Plazmahegesztés ;
• Plazmavágás ;
• Plazma polimerizáció ;
• Plazma funkcionalizálás ;
• Plazma-kémiai gőzleválasztás ;
• A plazma keményedés befejezése .

Galéria

• Plazmavágás

• Lyukak készítése plazmával (plazmafúrás)

• Plazma permetezés vákuumban

• A plazmapermetezés kialakításának sémája: 1 - Katód . 2 - Poranyag szállítása. 3 - A por részei. 4 - A por megolvadt részei. 5 - Spray tárgy. 6 - Bélés. 7 - Plazmaképző gáz. 8 - Anód . 9 - Plazmaív. 10 - Plazmasugár porszemcsékkel.

• Plazmahegesztés beépítésének vázlata: 1 - Plazmaképző gáz. 2 - Védőfúvóka. 3 - Jet. 4 - Elektróda. 5 - Szűkítő fúvóka. 6 - Elektromos ív.

• Plazma felületkezelő berendezés (tisztítás)

Jegyzetek

1. ↑ Kovshov A.N. Mérnöki technológia. - M., Mashinostroenie, 1987. - p. 290

Irodalom

• • Sosnin N. A., Ermakov S. A., Topolyansky P. A.  Plazma technológiák. Útmutató mérnökök számára. Műszaki Egyetem kiadója. Szentpétervár: 2013. - 406 p.
  • Ivanovsky G. F. , Petrov V. I. Anyagok ion-plazma feldolgozása. - M . : Rádió és kommunikáció, 1986.
  • D. Tolliver, R. Nowitzki, D. Hess és mások; Szerk. N. Einspruck, D. Brown. Plazma technológia a VLSI gyártásában. — M .: Mir, 1987. — 469 p.
  • Danilin BS, Kireev V. Yu. Alacsony hőmérsékletű plazma alkalmazása anyagok maratására és tisztítására. - M. : Energoatomizdat, 1987. - 263 p.
  • Danilin B.S. Alacsony hőmérsékletű plazma alkalmazása vékonyrétegek leválasztására. — M .: Energoatomizdat, 1989. — 328 p.
  • Popov VF, Gorin Yu. N. Az elektron-ion technológia folyamatai és telepítései. - M . : Feljebb. iskola, 1988. - 255 p. — ISBN 5-06-001480-0 .
  • Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Vákuumos eljárások és berendezések ion- és elektronsugaras technológiához. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 p. - ISBN 5-217-00726-5 .