A szelektív maratás (vagy szelektív maratás) egy olyan kifejezés, amely az egyik anyag maratásának leírására szolgál, előnyösen egy másik anyaghoz képest, amely sokkal lassabb maratási sebességgel rendelkezik.
Néha használják hibrid integrált áramkörök gyártása során: a porlasztás és a fotolitográfia készítése helyett minden ciklusban egyszerre több réteget raknak le, és minden rétegben felváltva készítik a fotolitográfiát, ami csökkenti a kémiai anyagok mennyiségét. feldolgozás, permetezési idő (a permetező berendezés kiszivattyúzása általában kb. 2-2,5 órát vesz igénybe) és a termék költsége. A félvezető technológiában használatos, lásd például a reaktív ionos maratást .
Folyékony maratószerek (például fluorsav ) használatakor egy pár GaAs/AlAs félvezető vegyület izolálható. A HF nagy szelektivitással rendelkezik - körülbelül 10 7 (lehetőleg eltávolítja az AlA-kat).