A reflexiós elektronmikroszkóp (REM) a mikroszkóp egy olyan típusa, amely a felületre szögben beeső, szórt, nagy energiájú elektronokat használ a felület képének kialakításához.
Ha a minta körül ultramagas vákuumkörülményeket tartanak fenn, akkor reflexiós elektronmikroszkóppal lehet vizsgálni a felszínen zajló folyamatokat. Előnye abban rejlik, hogy különbséget tesz az atomi lépések között, valamint a diffrakciós kontraszt segítségével különböző rekonstrukciós régiókat. A rugalmasan szórt elektronok diffrakciós mintát alkotnak az objektívlencse hátsó fókuszsíkjában, ahol egy vagy több diffrakciós visszaverődést egy rekesznyílás kivág . A kinagyított képet a mikroszkóp képernyőjére vetítik .
A reflektív elektronmikroszkóp egyik jellemzője – a tárgy síkja mentén a különböző irányú nagyítások különbsége – a tárgynak a mikroszkóp optikai tengelyéhez viszonyított ferde helyzetéhez kapcsolódik. Ennek eredményeként egy ilyen mikroszkóp nagyítását általában két értékkel jellemezzük: az elektronsugár beesési síkjában való nagyítással és a beesési síkra merőleges síkkal.
A perspektivikus képtípusból adódóan csak a középső része van fókuszban, míg a felső és az alsó rész túléles, illetve alulfókuszált. A perspektivikus képalkotás másik következménye a sugárirány mentén gyengébb felbontás. A gyakorlatban az ilyen típusú elektronmikroszkópokkal 100 Å nagyságrendű felbontást sikerült elérni.
A cikk írásakor a Creative Commons BY-SA 3.0 Unported licenc alatt terjesztett cikk anyagát használták fel :
Veresov A. G., Saranin A. A. mikroszkópia, elektronvisszaverő // Nanotechnológiai kifejezések szótára .