Ion-molekuláris rétegződés
Az ion-molekuláris rétegezés a szubsztrát felületén lévő nanorétegek rétegről rétegre történő szintézisének egyik módszere oldatokból származó ionok (kationok vagy anionok) és a gázfázisból származó illékony anyagok molekuláinak felhasználásával reagensként. A módszert prof. V. P. Tolsztoj és a Szentpétervári Állami Egyetem laboratóriumában végzett kollégáival végzett munkájában kísérletileg alátámasztotta. Az angol nyelvű irodalomban a módszert Ionic Layer Gas Reaction (ILGAR) néven nevezik, és napelemek, kémiai áramforrások elektródáinak stb.
Irodalom
- Tolsztoj V.P., Bogdanova L.P. Az acél felületének foszfátozásának módszere. 1475980 számú RF szabadalom, elsőbbség dátuma: 12/24/86.
- Aleskovsky V. B., Bogdanova L. P., Egorova E. V., Tolsztoj V. P. Módszer fém-oxidok egyrétegű rétegeinek előállítására, Pat. RF 1591534, elsőbbség 1988.06.20.
- Gulina L. B., Tolsztoj V. P. Ag 2 S nanorétegek szintézise szilícium-dioxid felületén „rétegről rétegre” módszerrel // Bulletin of St. Petersburg State University . Fizika. Kémia. 1999. No. 11. S. 88-91.
- Tolsztoj VP, Zhuchkov BS, Murin IV ScF 3 , LaF 3 nanorétegek és nLaF 3 -mScF 3 multinanorétegek szintézise a szilícium felületén egymást követő ionos réteglerakódásos módszerrel. // Solid State Ionics. 1997. V. 101-103. P. 165-170.
- Èller J. Mo, Fischer Ch.-H., Mufer H.-J., Ènenkamp RK, Kaiser I., Kelch C., Lux-Steiner MC Egy új depozíciós technika összetett félvezetőkhöz erősen porózus hordozókon: ILGAR, Thin Solid Filmek, 2000, V. 361-362, P. 113-117.
- Gledhill S., Allison R., Allsop N., Fu Y., Kanaki E., Sáez-Araoz R., Lux-Steiner M., Fischer Ch.-H. A permetező ionréteg gázreakciós folyamatának reakciómechanizmusa In2S3 vékonyrétegek lerakására, Thin Solid Films, 2011, V. 519, 19, 2011, P. 6413.