A Counter scanning (BC, eng. CS - counter-scanning ) egy olyan szkennelési módszer , amely lehetővé teszi a pásztázó mikroszkóp szonda mérendő felülethez viszonyított eltolódása által okozott rasztertorzulások korrigálását . A VS során két felületi letapogatást kapunk - közvetlen és számlálós (lásd 1. ábra). A számláló keresés azon a ponton kezdődik, ahol az előre irányuló keresés véget ér. Ezt a pontot illesztési pontnak (TC) nevezzük. A szondának a rasztervonal mentén történő mozgatása és a szonda vonalról rasztervonalra történő mozgatása a számlálóvizsgálat során a közvetlen letapogatás mozgási irányaival ellentétes irányban történik. A VS során kapott képpárt ellenszkennelt képeknek (CSI) nevezzük .
Ha a rasztertorzítás lineáris, azaz állandó sebességgel sodródáskor, akkor elegendő egyetlen közös jellemző koordinátáit megmérni, hogy a direkt és számlálós letapogatáson korrigáljuk az eltolódást. Nemlineáris torzítás esetén, amikor a sodródási sebesség változik a pásztázási idő alatt, a HSI azon közös jellemzőinek száma, amelyek koordinátáit mérni kell, a nemlinearitás mértékével nő.
A mikroszkóp szondának a mért felülethez viszonyított eltolódása általában két komponensből áll - az egyik a használt szkenner piezokerámiák kúszásához ( kúszásához ) kapcsolódik , a másikat a készülék hőmérséklet-változások miatti termikus deformációja okozza. Az első komponens nemlineáris ( a logaritmussal közelítve ), a második komponens a legtöbb gyakorlati alkalmazásban lineárisnak tekinthető.
A VS módszer alkalmazása lehetővé teszi, hogy erős, több tíz százalékos hibához vezető sodródás esetén is tizedszázalékos hibával mérjük a felszíni domborzatot.
(a)
(b)
Rizs. 1. Számláló szkennelés: (a) üresjárati fordított mozgással (szaggatott vonallal), (b) üresjárati hátramenet nélkül. Az 1…4 számok a fogadott képek számát jelzik. 1, 3 – közvetlen képek, 2, 4 – a direkteknek megfelelő ellenképek. A TS egy pár ellenpásztázott kép igazodási pontja. A bemutatott raszter feltételesen négy sorból áll.
| Pásztázó szonda mikroszkópia | ||
|---|---|---|
| A mikroszkópok fő típusai | ||
| Egyéb módszerek |
| |
| Eszközök és anyagok | ||
| Lásd még | ||