Boole

Az oldal jelenlegi verzióját még nem ellenőrizték tapasztalt közreműködők, és jelentősen eltérhet a 2019. december 8-án felülvizsgált verziótól ; az ellenőrzések 2 szerkesztést igényelnek .

A Boole (az angol  boule szóból ) egy egykristályból álló tuskó, amelyet szintetikusan készítettek [1] .

A szilícium golyó a legtöbb ma használt integrált áramkör kiindulási anyaga . A félvezetőiparban a szintetikus boule-k többféle módszerrel is előállíthatók, például a Bridgman-módszerrel [2] és a Czochralski-eljárással, amely hengeres anyagrudat eredményez.

A Czochralski eljáráshoz magkristályra van szükség egy nagyobb kristály vagy ingot létrehozásához. Ezt a magot tiszta olvadt szilíciumba mártják, és lassan kihúzzák. Az olvadt szilícium magkristályon nő. Ahogy a mag kihúzódik, a szilícium megkeményedik, és végül egy nagy, hengeres golyó képződik [3] .

A félvezető boule kristályt általában gyémántfűrésszel kör alakú ostyákra vágják, és minden ostyát políroznak, hogy olyan szubsztrátumokat kapjanak [ check  link (már 1053 nap) ] , amelyek alkalmasak félvezető eszközök készítésére a felületen [4] .

Az eljárást zafírok előállítására is használják , amelyeket kék-fehér LED-ek gyártásánál szubsztrátumként, valamint órák védőbevonataként használnak [5] .

Jegyzetek

  1. ↑ A szilícium-karbid epitaxiális növekedése  // A szilícium-karbid technológia alapjai. Szingapúr: John Wiley & Sons Singapore Pte. Kft., 2014-09-26. – 75–124 . — ISBN 9781118313534 , 9781118313527 .
  2. ↑ Yoshinori Furukawa. Hó- és jégkristálynövekedés  // A kristálynövekedés kézikönyve. - Elsevier, 2015. - S. 1061-1112 . — ISBN 9780444563699 .
  3. ↑ S.N. Rea. LSSA Nagy területű szilíciumlap Feladat: folyamatos Czochralski folyamatfejlesztés. számú negyedéves jelentés 2, 1978. január–március. Texas Instruments jelentés No. 03-78-11 . - Tudományos és Műszaki Információs Hivatal (OSTI), 1978-04-01.
  4. ↑ Bose, Gouranga. IC gyártási technológia . - New Delhi. — xv, 353 oldal p. — ISBN 9781259029585 , 1259029581.
  5. ↑ Colinge, Jean-Pierre. Szilícium-szigetelő technológia: anyagok a VLSI-hez . — 3. kiadás. - Boston: Kluwer Academic Publishers, 2004. - x, 366 oldal p. - ISBN 1402077734 , 9781402077739.