A felületi akusztikus hullámérzékelők a mikroelektromechanikai rendszerek ( MEMS ) osztályába tartoznak , amelyek a felületi akusztikus hullámok modulációján alapulnak, amikor kölcsönhatásba lépnek az érzékelő felületéhez közel elhelyezett anyaggal. Az érzékelő a bemenő elektromos jelet mechanikai hullámokká alakítja, amelyek kölcsönhatásba lépnek az anyaggal. A készülék ezután ezt a hullámot elektromos jellé alakítja vissza. A bemeneti és kimeneti elektromos jelek közötti amplitúdó, fázis, frekvencia változásai felhasználhatók az anyagtulajdonságok meghatározására.
A SAW érzékelő egy piezoelektromos hordozóból, egy interdigitális jelátalakítóból (IDT) áll a felület egyik oldalán, amely érintkezik a vizsgált anyaggal, és egy második IDT-ből a hordozó másik oldalán. Az IDT-k közötti teret, amelyen keresztül a felületi akusztikus hullám továbbterjed, késleltetési vonalnak nevezzük, mivel a jel, amely ebben a tartományban mechanikai hullám, sokkal lassabban mozog, mint az elektromágneses része, ezáltal észrevehető késéseket okoz.