A mikroszonda röntgen-spektrális mikroanalízis (kis térfogatú anyag atomi összetételének meghatározása ) elvégzésére szolgáló eszköz .
A mikroszonda működési elve a következő: elektronsugarat generálnak , amelyet elektromágneses lencsék gyűjtenek össze egy keskeny nyalábba - egy elektronszondába. A mintába kerülve az elektronok kiütik az elektronokat az anyag atomjainak héjából, és jellegzetes röntgensugárzást hoznak létre . Minden elem a rá jellemző frekvenciakészleten sugárzik, és ez alapján azonosítható. Az elemkoncentrációkat a sugárzás intenzitásából határozzuk meg.
Jelenleg a mikroszonda általában a pásztázó elektronmikroszkóp egy olyan változata, amelyet röntgenspektrális elemzésre optimalizáltak. Ezért a legtöbb mikroszonda képes ellátni az elektronmikroszkóp funkcióit is.
A kvantitatív mikroszondás elemzés elvégzéséhez a minta felületét polírozni és meg kell tisztítani. szabálytalanságok a röntgenfelvételek atipikus szórásához és jelentős hibákhoz vezetnek az elemek koncentrációjának meghatározásában. Annak érdekében, hogy megakadályozzuk a töltés felhalmozódását a dielektromos minta felületén, vékony vezetőréteget, általában szénréteget raknak le rá .