A hibrid integrált áramkör (hibrid mikroáramkör , mikroösszeállítás, GIS, GIMS) olyan integrált áramkör , amelyben a felületen vagy a hordozó térfogatában tartósan csatlakoztatott elemekkel együtt mikrominiatűr elemek ( tranzisztorok , kondenzátorok , félvezető diódák , induktorok , vákuum ) kapcsolódnak. elektronikus eszközöket ) használnak , kvarc rezonátorokat stb.). A tartósan összekapcsolt elemek gyártási módjától függően hibrid, filmes és félvezető integrált áramköröket különböztetnek meg.
A térinformatikai rendszerben az ellenállásokat, az érintkezőbetéteket és az elektromos vezetőket vagy különböző anyagok egymás utáni felhordásával állítják elő vákuumberendezésekben [1] (maszkokon keresztül történő leválasztás módszere, fotolitográfia módszere - vékonyréteg-technológiás GIS ), vagy felhordása filmek formájában (kémiai eljárások, szitanyomás stb. - GIS vastagréteg-technológia ).
A filmellenállások értékeit a gyártási folyamat során lézeres vágás segítségével lehet beállítani (a lézerhatás lokálisan elpárologtatja az ellenállás anyagát, csökkentve annak keresztmetszetét), ami például nagy pontosságú DAC -ok és ADC -k létrehozásához szükséges .
A függőelemek ugyanarra a hordozóra vannak felszerelve fóliaelemekkel, és vezetékeiket forrasztással vagy hegesztéssel csatlakoztatják a megfelelő érintkezőbetétekhez. A GIS-t általában egy házba helyezik és lezárják. A térinformatika elektronikus berendezésekben történő alkalmazása növeli azok megbízhatóságát, csökkenti a méreteket és a súlyt.
A hibrid MS-ek a mikromodulok ötletének továbbfejlesztései – kompakt, teljes funkcionális blokkok miniatűr csomagolatlan elemekre, nagyon sűrű összeállításban. A mikromodulok pedig a kompaktronok ötleteit folytatják - kombinált rádiócsövek, amelyek 3 vagy több csövet tartalmaznak egy hengerben. Már a második világháború előtt is voltak olyan kompaktronok, amelyekben a lámpák elektródák közötti csatlakozásaiból azonnal a kívánt áramkört alakították ki, illetve voltak huzalellenállások és fojtótekercsek is, ezek voltak az első mikromodulok és a hibrid MS közvetlen ősei.
A kvarcoszcillátorok legnagyobb tömegben gyártott hibrid integrált áramkörei.
A világ első hibrid integrált áramkörét, a „Kvant” (később „GIS series 116” néven) 1962 -ben fejlesztették ki a Leningrádi Rádióelektronikai Kutatóintézetben (NIIRE, később NPO Leninets ), vezető tervezője – A. N. Pelipchenko. Ez volt a világon az első kétszintű integrációval rendelkező térinformatikai rendszer - nem diszkrét csomag nélküli tranzisztorokat használt aktív elemként, hanem a világ harmadik félvezető IC "P12-2"-jét, amelyet 1962-ben fejlesztettek ki és gyártottak a NIIRE megrendelésére. a Riga Semiconductor Devices Plant (RZPP), vezető tervező - Yu. V. Osokin. A GIS-t az 1990-es évek közepéig gyártották, azaz több mint 30 évig.
Az első külföldi GIS-t az IBM jelentette be 1964 -ben STL-modulok formájában, amelyeket a cég az új IBM-360 számítógépcsaládhoz készített [2] .
A következő hibrid vastagfilm integrált áramkört (201-es "Tropa" sorozat) 1963-65 - ben fejlesztették ki a Precíziós Technológiai Kutatóintézetben (" Angstrem " ), tömeggyártása 1965 óta [3] [4] .
A speciális mikroelektronika területén végzett fejlesztést és kutatást az LNPO Avangard végezte . A munka eredménye új típusú REA komponensek - mikroösszeállítások és funkcionális elektronikai eszközök - létrehozása volt.
A mikroösszeállítások ma sem veszítették el fontosságukat, és még mindig használják az elektronikában. Oroszországban léteznek térinformatikai technológiák többrétegű kerámia táblákon [5] és polimer fóliákon alapuló technológiák. [6]